行业标准《溅射用钽靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 宁夏东方钽业股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、宁波江丰电子材料股份有限公司等 。

主要起草人 钟景明 、李桂鹏 、汪凯等 。

备案号：50322-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）