行业标准《高纯钽磁控溅射环》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：106901-2026。
本文件规定了高纯钽磁控溅射环的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于电子薄膜制造用的高纯钽磁控溅射环
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