行业标准《真空离子镀膜设备》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 大连远东真空技术有限公司 、沈阳北宇真空设备厂等 。
主要起草人 陈大民 、冯玉国等 。
备案号：28641-2010。
备案公告： 2010年第5号 。
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