行业标准《真空溅射镀膜设备》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 广东中环真空设备有限公司 、成都南光机器有限公司等 。
主要起草人 蔡东锋 、张远青等 。
备案号：28640-2010。
备案公告： 2010年第5号 。
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