国家标准计划《真空镀膜设备通用技术条件》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 兰州空间技术物理研究所 、兰州真空设备有限责任公司 、深圳科和盛业有限公司 、沈阳真空技术研究所有限公司 。
GB/T 11164-2011 （全部代替）
20254040-T-604 正在起草
全国标准信息公共服务平台
