国家标准计划《真空镀膜设备通用技术条件》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 兰州空间技术物理研究所 、沈阳真空技术研究所有限公司 、湖南玉丰真空科学技术有限公司 、东莞市科盛机电设备有限公司 、富时精工（南京）有限公司 、北京北方华创真空技术有限公司 、江苏浩纳光电股份有限公司 、佛山市博顿光电科技有限公司 、湘潭宏大真空技术股份有限公司 、中科九微科技股份有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、江苏微导纳米科技股份有限公司 、金耀真空设备（中山）有限公司 、中山凯旋真空科技股份有限公司 、广东汇成真空科技股份有限公司 、深圳市黄金屋真空科技有限公司 、沈阳汇真真空技术有限公司 、中熵科技（北京）有限公司 、山东沐东真空科技有限公司 、江阴慕达斯真空设备有限公司 、浙江万得福智能科技股份有限公司 、江苏沃能成电子科技有限公司 、万明电镀智能科技（江门）有限公司 、河南华佳新材料技术有限公司 、浙江生波智能装备有限公司 、江苏派莱特光电科技有限公司 。

主要起草人 杨拉毛草 、马占吉 、黄汉乐 、李冰妍 、孙足来 、宋青竹 、周毅 、刘国利 、赵蒙 、张延帅 、蒋钊 、刘旭 、赵新安 、冀鸣 、刘伟基 、黄乐 、陈立 、靳毅 、宋铠钰 、陆学贵 、李松波 、周仁 、黎微明 、朱世元 、杨清霞 、胡湘娥 、李晓刚 、罗军文 、胡冀 、占兵 、张伟 、魏俊杰 、黄介龙 、张一为 、贾建国 、祁富安 、石永辉 、高文波 、刘年生 、刘诗梦 、王玲玲 。