行业标准《真空蒸发镀膜设备》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为国家发展和改革委员会。
主要起草单位 北京北仪创新真空技术有限公司 、沈阳真空技术研究所 。
主要起草人 周毅 、陈月增等 。
备案号：14730-2005。
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