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行业标准《卧式液相外延系统通用规范》，主管部门为信息产业部。

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标准状态

基础信息

标准号: SJ/T 11275-2002
发布日期: 2002-10-30
实施日期: 2003-03-01

主管部门: 信息产业部
行业分类: 无

备案信息

备案号：10995-2002。

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