行业标准《金刚石膜中硼掺杂含量的测定 二次离子质谱法》由全国人工晶体标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中材人工晶体研究院有限公司 、中材人工晶体研究院（山东）有限公司 、北京科技大学 、江西欣远新材料科技有限公司 、哈尔滨工业大学 、广州德百顺蓝钻科技有限公司 、西南技术物理研究所 。

主要起草人 曹延新 、赵小玻 、王玉宝 、王颖 、李成明 、魏华阳 、玄真武 、刘本建 、朱嘉琦 、张文英 、徐金昌 、张伟 。

备案号：108221-2026。

本文件规定了金刚石膜中硼掺杂含量的二次离子质谱测试方法的原理、试验条件、仪器设备、样品、测试步骤、数据处理、不确定度分析和试验报告。 本文件适用于金刚石膜材料中硼掺杂含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×10^13cm^-3，不大于1×10^23 cm^-3。