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国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司中铝宁夏能源集团有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司洛阳鸿泰半导体有限公司新特能源股份有限公司

主要起草人 薛抗美夏根平肖宗杰盛之林范占军蒋建国林清香徐自亮王泽林宋高杰刘国霞

目录

标准状态

当前标准

GB/T 32281-2015 现行

太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

基础信息

标准号
GB/T 32281-2015
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.30
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.30 金属材料化学分析
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

薛抗美
夏根平
范占军
蒋建国
王泽林
宋高杰
肖宗杰
盛之林
林清香
徐自亮
刘国霞

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