行业标准《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。
主要起草人 陈奕睿 、屈海云等 。
备案号：38976-2013。
备案公告： 2013年第2号 。
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