国家标准计划《表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 。

主要起草人 马农农 、何友琴 、何秀坤 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 20341:2003。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法。