国家标准计划《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后8个月正式实施。
主要起草单位 江苏中能硅业科技发展有限公司 、亚洲硅业(青海)有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、峨嵋半导体材料研究所 。
主要起草人 胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。
| 77 冶金 |
| 77.040 金属材料试验 |