国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 。
主要起草人 袁金满 。
GB/T 4061-1983 (全部代替)
GB/T 4061-2009 现行