行业标准《区熔用硅多晶材料》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:104154-2026。
本文件规定了区熔用硅多晶材料牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于以三氯氢硅或硅烷为原料生长的n 型区熔用硅多晶材料。