国家标准《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有研半导体材料有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 、无锡华瑛微电子技术有限公司 、龙腾半导体有限公司 、厦门科鑫电子有限公司 。

主要起草人 骆红 、潘文宾 、赵而敬 、孙燕 、张海英 、徐新华 、温子瑛 、胡金枝 、李素青 、马林宝 、李俊需 。