行业标准《用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 苏州晶瑞化学有限公司 、同济大学 、工业和信息化部电子工业标准化研究院等 。

主要起草人 刘兵 、钱森林 、王洪华等 。

备案号：52022-2015。

备案公告： 2015年第12号 。