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国家标准计划《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后8个月正式实施。

主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 、有色金属技术经济研究院 、东莞市中镓半导体科技有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。

目录

项目进度

当前标准计划

20151534-T-469 已发布

氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
已发布标准

基础信息

计划号
20151534-T-469
制修订
制定
项目周期
36个月
下达日期
2015-08-18
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

郑树楠
张育民
王建峰
徐科
丁晓民
陆敏
石林
邱永鑫
付雪涛
杨素心
杨建

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