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硅抛光片表面质量（颗粒）检测方法

国家标准计划 制定 推荐性

国家标准计划《硅抛光片表面质量（颗粒）检测方法》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 北京有色院 。

目录

项目进度

  1. 起草
  2. 征求意见
  3. 审查
  4. 批准
  5. 发布
当前标准计划

20000544-T-610 已发布

硅抛光片表面质量（颗粒）检测方法
已发布标准

GB/T 19921-2005

基础信息

计划号
20000544-T-610
制修订
制定
标准类别
方法
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
执行单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
中国有色金属工业协会

起草单位

北京有色院

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