国家标准计划《硅的仪器中子活化分析测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后12个月正式实施。
主要起草单位 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 、中国原子能科学研究院 、新特能源股份有限公司 。
主要起草人 李智伟 、张亚东 、张新 、姚淑 、银波 、邱艳梅 。
20120276-T-469 已发布