注册

国家标准计划《硅的仪器中子活化分析测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后12个月正式实施。

主要起草单位 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司中国原子能科学研究院新特能源股份有限公司

主要起草人 李智伟张亚东张新姚淑银波邱艳梅

目录

项目进度

当前标准计划

20120276-T-469 已发布

硅的仪器中子活化分析测试方法

基础信息

计划号
20120276-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2012-10-12
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

李智伟
张亚东
银波
邱艳梅
张新
姚淑

相近标准(计划)