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国家标准计划《用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜（SEM）参数描述及术语规范》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院微电子研究所、中国电子技术标准化研究院。

目录

项目进度

当前标准计划

20154013-T-469 暂缓

用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜（SEM）参数描述及术语规范

征求意见稿

征求意见稿.pdf 编制说明.pdf

基础信息

计划号: 20154013-T-469
制修订: 制定
项目周期: 24个月
下达日期: 2016-01-04

标准类别

基础

国际标准分类号

31.030

31 电子学

31.030 电子技术专用材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

起草单位

中国科学院微电子研究所

中国电子技术标准化研究院

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