国家标准《微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院地质与地球物理研究所 、核工业北京地质研究院 、中国科学院化学研究所 。

主要起草人 毛骞 、范光 、王岩华 、曾荣树 、原江燕 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 15632:2021。

采标中文名称:微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法。