国家标准《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学技术大学 、新疆师范大学 、中国科学院合肥物质研究院 、安徽大学 。

主要起草人 丁泽军 、陆大宝 、邹艳波 、毛世峰 、李永钢 、李会民 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21466:2019。

采标中文名称:微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法。