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国家标准计划《300mm半导体设备装载端口要求》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 上海微电子装备(集团)股份有限公司中国电子技术标准化研究院北京北方华创微电子装备有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司漳州市太龙照明工程有限公司深圳市埃芯半导体科技有限公司苏州镁伽科技有限公司中电鹏程智能装备有限公司

主要起草人 胡松立李运锋吴怡然曹可慰赵俊莎周晓锋李殿浦武小娟朱明李英张宝帅洪峰张志勇乔志新王鸣昕

目录

项目进度

当前标准计划

20153730-T-469 正在批准

300mm半导体设备装载端口要求

基础信息

计划号
20153730-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2016-01-04
标准类别
基础
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.260
31 电子学
31.260 光电子学、激光设备
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

胡松立
李运锋
赵俊莎
周晓锋
朱明
李英
张志勇
乔志新
吴怡然
曹可慰
李殿浦
武小娟
张宝帅
洪峰
王鸣昕

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