国家标准《300mm 硅单晶》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、中国有色金属工业标准计量质量研究所 、万向硅峰电子股份有限公司 、宁波立立电子股份有限公司 。

主要起草人 闫志瑞 、孙燕 、卢立延 、张果虎 、楼春兰等 。