国家标准计划《电子工业用气体 六氟化硫》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 黎明化工研究设计院有限责任公司 、成都科美特氟业塑胶有限公司 、青海信禾高精化工有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、四川众力氟业有限责任公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、四川中测标物科技有限公司 、上海仪盟电子科技有限公司 。

主要起草人 黄晓磊 、牛学坤 、赖明贵 、傅涛 、刘长庆 、任清贵等 。