国家标准计划《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、中国电子科技集团公司第四十八研究所 、北京北方华创微电子装备有限公司 。

主要起草人 冯亚彬 、肖友文 、龙辉 、裴会川 、曹可慰 、赵志然 、李补忠 、郑建宇 、王赶强 、李小娟 、孙朋涛 。