行业标准《扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、北京北方华创微电子装备有限公司 、北京赛西认证有限责任公司 、深圳赛西信息技术有限公司 、青海大学 、中国科学院电工研究所 。

主要起草人 张生春 、赵立华 、程朝阳 、吴秀祥 、李梦辰 、麻林瑞 、李兴 、冀晓洲 、李春琦 、杨立娜 。

备案号：89626-2023。

备案公告： 2023年第6号 。

适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件