行业标准《扩散炉能源消耗规范》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 北京北方华创微电子装备有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、晶澳太阳能科技股份有限公司 、株洲中车时代半导体有限公司 、英利能源（中国）有限公司 、北京赛西认证有限责任公司 。

主要起草人 李补忠 、吴秀祥 、孙朋涛 、张颖 、郝晓明 、赵永猛 、刘月雷 、张红妹 、张生春 、李琳 。

备案号：89619-2023。

备案公告： 2023年第6号 。

适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉