国家标准计划《电子工业用气体 氩》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京氦普北分气体工业有限公司 、西南化工研究设计院 。

主要起草人 赵俊秀 、周鹏云 。