国家标准计划《电子工业用气体 硅烷（SiH4）》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 浙江大学材化学院半导体材料研究所 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 余京松 、周鹏云 。
GB/T 15909-1995 （全部代替）
20064396-T-469 已发布
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