国家标准计划《电子级四甲基硅烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南大光电半导体有限公司 、江苏南大光电材料股份有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、乌兰察布南大微电子材料有限公司 、上海华力微电子集成电路有限公司等 。