国家标准计划《电子级四甲基硅烷》由
TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口
,主管部门为国家标准委。
主要起草单位
南大光电半导体有限公司
、江苏南大光电材料股份有限公司
、宁波南大光电材料有限公司
、全椒南大光电材料有限公司
、乌兰察布南大微电子材料有限公司
、上海华力微电子集成电路有限公司等
。
项目进度
当前标准计划
20232465-T-469
正在征求意见
电子级四甲基硅烷
征求意见稿
基础信息
起草单位
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