行业标准《工业用混合气体 硅烷/氮气》由全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 广东华特气体股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司等 。

主要起草人 傅铸红 、孙福楠 、张金波等 。

备案号：88178-2023。

备案公告： 2023年第2号 。