国家标准计划《微束分析 扫描电子显微术 术语》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。

主要起草人 李香庭 、曾毅 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 22493:2008。

采标中文名称:微束分析 扫描电子显微术 术语。