国家标准计划《微束分析 扫描电子显微术 分辨率 第1部分：纳米级长度标尺校准方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学技术大学 、新疆师范大学 、同济大学 、北京科技大学 、中国航发北京航空材料研究院 、中国地质科学院矿产资源研究所 、中国科学院化学研究所 、安徽国科瀚海科技有限公司 。