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国家标准计划《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 北京大学中机生产力促进中心北京必创科技股份有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所中北大学

主要起草人 张威程红兵陈得民李海斌崔波石云波朱悦

目录

项目进度

当前标准计划

20120464-T-469 已发布

MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
已发布标准

基础信息

计划号
20120464-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2012-10-12
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

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