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国家标准《确定晶片坐标系规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 有色金属技术经济研究院有研半导体材料有限公司浙江海纳半导体有限公司浙江省硅材料质量检验中心上海合晶硅材料有限公司

主要起草人 卢立延孙燕潘金平杨素心楼春兰胡金枝李素青

目录

标准状态

代替了以下标准

GB/T 16596-1996 (全部代替)

确定晶片坐标系规范
当前标准

GB/T 16596-2019 现行

确定晶片坐标系规范

基础信息

标准号
GB/T 16596-2019
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
全部代替标准
GB/T 16596-1996
标准类别
基础
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

卢立延
孙燕
楼春兰
胡金枝
潘金平
杨素心
李素青

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