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确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem
国家标准 推荐性 废止

国家标准《确定晶片坐标系规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国有色金属工业总公司 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 16596-1996 废止

确定晶片坐标系规范
被以下标准替代

GB/T 16596-2019 （全部代替）

确定晶片坐标系规范

基础信息

标准号
GB/T 16596-1996
发布日期
1996-11-04
实施日期
1997-04-01
废止日期
2020-02-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI M20:1992。

采标中文名称:。

起草单位

中国有色金属工业总公司

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