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国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国有色金属工业总公司。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 16596-1996 废止

确定晶片坐标系规范

被以下标准替代

GB/T 16596-2019 （全部代替）

确定晶片坐标系规范

基础信息

标准号: GB/T 16596-1996
发布日期: 1996-11-04
实施日期: 1997-04-01
废止日期: 2020-02-01

标准类别

方法

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

29.045

29 电气工程

29.045 半导体材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI M20:1992。

采标中文名称:。

起草单位

中国有色金属工业总公司

相近标准(计划)

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

GB/T 28584-2012 城市坐标系统建设规范

GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范

YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范

20194111-T-339 声表面波器件用单晶晶片规范与测量方法

20141892-T-469 晶片承载器传输并行接口要求

20231113-T-469 半导体晶片直径测试方法

GB/T 30112-2013 月球空间坐标系

GB/T 42042-2022 空间站坐标系

20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法

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