国家标准《MEMS电场传感器通用技术条件》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院电子学研究所 、中机生产力促进中心 、西安西谷微电子有限责任公司 。

主要起草人 夏善红 、彭春荣 、李海斌 、郑凤杰 、程红兵 、朱悦 、白巍 。