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国家标准《硅的仪器中子活化分析测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司中国原子能科学研究院新特能源股份有限公司

主要起草人 李智伟张亚东张新姚淑银波邱艳梅

目录

标准状态

当前标准

GB/T 32277-2015 现行

硅的仪器中子活化分析测试方法

基础信息

标准号
GB/T 32277-2015
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

李智伟
张亚东
银波
邱艳梅
张新
姚淑

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