国家标准《硅的仪器中子活化分析测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 、中国原子能科学研究院 、新特能源股份有限公司 。

主要起草人 李智伟 、张亚东 、张新 、姚淑 、银波 、邱艳梅 。