国家标准《微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院地质与地球物理研究所 。

主要起草人 曾荣树 、徐文东 、毛骞 、马玉光 。