国家标准《微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。

主要起草人 曾毅 、李香庭 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23833:2013。

采标中文名称:微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语。