国家标准《表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国计量科学研究院 。

主要起草人 王海 、宋小平 、王梅玲 、高思田 、冯流星 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17331:2004。

采标中文名称:表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定。