国家标准《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、华南理工大学 。

主要起草人 王海 、张艾蕊 、王梅玲 、任丹华 、徐昕荣 、范燕 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14706:2014。

采标中文名称:表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染。