国家标准化指导性技术文件登记项目《表面化学分析 辉光放电质谱 碳化硅杂质元素的测定》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 宁波新材料测试评价中心有限公司 、中国科学院宁波材料技术与工程研究所 、中国科学院上海硅酸盐研究所 、宁波伏尔肯科技股份有限公司 、国合通用(青岛）测试评价有限公司等 。