国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究所 。

主要起草人 黄英华 、刘筠 、张建勇 、蒋迪宝 。

本标准修改采用其他国际标准：SEMI E10-0304:2004。

采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范。