国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、北方华创科技集团股份有限公司 、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 、青岛思锐智能科技股份有限公司 、北京京仪自动化装备技术股份有限公司 、星奇（上海）半导体有限公司 、常熟市兆恒众力精密机械有限公司 、上海隐冠半导体技术有限公司 、上海卡贝尼先进材料科技有限公司 、致真精密仪器（青岛）有限公司 、上海赛西科技发展有限责任公司 、深圳格芯集成电路装备有限公司 、北京和崎精密科技有限公司 、杭州昆泰磁悬浮技术有限公司 、上海普达特半导体设备有限公司 、苏州智程半导体科技股份有限公司 、深圳市轴心自控技术有限公司 、成川科技（苏州）有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、深圳市埃芯半导体科技有限公司 、瑶光半导体（浙江）有限公司 、无锡邑文微电子科技股份有限公司 、无锡格瑞斯精密机械有限公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 、常州铭赛机器人科技股份有限公司 、珠海市奥德维科技有限公司 、深圳市丰源升科技有限公司 、东莞市台进精密科技有限公司 、上海赢朔电子科技股份有限公司 、广东全芯半导体有限公司 、苏州镁伽科技有限公司 。

主要起草人 南江 、任翔 、纪安宽 、菅端端 、兰立广 、倪昊 、聂翔 、张丛 、卓祖亮 、于浩 、周亮 、齐英 、杨绍辉 、刘吉军 、罗中平 、李鹏抟 、温烈阳 、江旭初 、王振华 、汤成燕 、陶近翁 、王向荣 、陈颖祥 、张学莹 、魏家琦 、曹志强 、张星星 、刘飞 、钟华 、郑瑜谦 、王成鑫 、张寅 、钱文方 、杨仕品 、李高勇 、顾晓勇 、赵英伟 、商超 、王涛 、孙文彬 、秦春 、李长峰 、龚博 、贺一亮 、黄美林 、吕微 、周添喜 、乔志新 。