国家标准《硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 。

主要起草人 杜娟 、孙燕 、卢立延 。

本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF671-0705。

采标中文名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测试方法。