国家标准《掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 上海电子管二厂 。
GB/T 9506.5-1988 废止
GB/T 25497-2010 (全部代替)