国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。
GB 1554-1979 （全部代替）
GB 4057-1983 （全部代替）
GB/T 1554-1995 废止
GB/T 1554-2009 （全部代替）
本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F47:1988。
采标中文名称:。
全国标准信息公共服务平台
