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国家标准《300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位机电部第四十六研究所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 14143-1993 废止

300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

被以下标准替代

GB/T 1557-2006 （全部代替）

硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

基础信息

标准号: GB/T 14143-1993
发布日期: 1993-02-06
实施日期: 1993-10-01
废止日期: 2006-12-31

标准类别: 方法
中国标准分类号: H26
归口单位: 中国有色金属工业协会
执行单位: 中国有色金属工业协会
主管部门: 中国有色金属工业协会

起草单位

机电部第四十六研究所

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